Method for nitriding of Ti and Ti alloy

티타늄계 금속의 질화 방법

Abstract

본 발명은 티타늄 또는 티타늄 합금과 같은 티타늄계 금속의 표면에 질화처리를 실시하는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 방법은, 피질화물을 질화로에 장입한 후 질소 가스 또는 불활성 가스 중의 어느 하나로 질화로 내부를 퍼지하는 초기 퍼지 단계(Ⅰ)와; 300±50℃에서 플라즈마 스퍼터링을 실시하는 1차 승온 및 플라즈마 스퍼터링 단계(Ⅱ)와; 600±50℃에서 플라즈마 스퍼터링을 실시하는 2차 승온 및 플라즈마 스퍼터링 단계(Ⅲ)와; 질소와 암모니아의 혼합가스 분위기 하에서 700∼800℃에서 실시되는 3차 승온 및 질화 단계(Ⅳ)와; 상온까지 로냉시키는 냉각 단계(Ⅴ)로 이루어지며, 플라즈마를 이용하여 피질화물 표면에 잔류하는 오염물질을 휘발시키는 동시에 그 표면을 활성화시킨 후 저압 상태에서 가스질화를 실시함에 본 발명의 기술적 특징이 있다. 본 발명 티타늄계 금속의 질화 방법은 플라즈마를 이용한 표면 활성화에 의해 질화처리 생산성이 향상되며, 플라즈마 질화처리가 어려운 복잡한 형상을 갖는 피질화물의 처리가 가능하며, 질화처리 전후의 칫수 변화량이 작은 이점이 있다. 플라즈마, 가스질화, 티타늄, 퍼지

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Patent Citations (5)

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